无脉冲干式真空泵参数 艾斯达流体技术供应

艾斯达流体技术无脉冲干式真空泵，采用无油润滑设计，避免污染工艺气体，真空度可达10^-3 mbar，流量范围0.5-100 m³/h，噪音<65dB。适用于半导体、制药等洁净环境，无需维护真空泵油，降低运行成本。材质为316L不锈钢，IP54防护等级，电源380V/50Hz。起订量1台，交期7-15工作日，提供1年质保。建议根据具体工艺需求确认真空度和流量参数。